篤摯儀(yi) 器*的美國api激光幹涉儀(yi) 測量21中參數：包括線性定位誤差、直線度誤差、垂直度的偏擺角、俯仰角和滾動角。XD係列激光幹涉儀(yi) 約在2000年進入中國市場，是後來者，結合激光幹涉技術和光電自準直技術：不僅(jin) 可用於(yu) 精度的zui終評價(jia) 也可用於(yu) 機床的安裝調整。

美國API激光幹涉儀(yi) XD Laser儀(yi) 器體(ti) 積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。其中6D激光幹涉儀(yi) 主要由穩頻激光器、幹涉儀(yi) 和6維傳(chuan) 感器組成，從(cong) 激光器發出的激光光束經過幹涉後，被6D傳(chuan) 感器內(nei) 的分光鏡分成三束，一束光經錐角反射棱鏡反向後返回幹涉儀(yi) 與(yu) 參考光束相幹產(chan) 生幹涉條紋，經光學相位探測器識別後進行電子記數，記錄長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳(chuan) 感器與(yu) 參考光束之間的相對位移由裝在傳(chuan) 感器內(nei) 的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳(chuan) 感器內(nei) 的小型光電測角儀(yi) 的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為(wei) 了保證激光光束的穩定性，測量儀(yi) 在結構的設計以及激光器的選擇方麵都做了仔細周密的考慮，以使測量儀(yi) 的橫向和角度漂移量都降低到zui小，從(cong) 而保證測量儀(yi) 的長期穩定性。測量儀(yi) 配有自動氣壓、環境溫度補償(chang) 器，自動校正環境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀(yi) 還配有專(zhuan) 門設計的多重數字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到zui小。 

美國API激光幹涉儀(yi) XD Laser的特點：

¾ 一次安裝能測量6項精度指標
¾ 包括線性定位誤差、 XX及YY兩(liang) 個(ge) 方向直線度、
¾ 偏擺角、俯仰角、滾動角
¾ 把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩(liang) 軸間垂直度
¾ 兩(liang) 點調光線. 無需三腳架. 測量調整簡單快速
¾ 傳(chuan) 統激光幹涉儀(yi) 測量20項精度指標(三軸)，約需3天的時間； API幹涉儀(yi) 隻約需半天!
¾ 測量直線度/小角度/垂直度/轉台時, 不怕斷光, 可當自準直儀(yi) 用, 用於(yu) 機床裝配調試