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美國激光幹涉儀API測量儀器信息
點擊次數:177 更新時間:2025-05-12
核心優勢
優(you) 異精度:標準款激光幹涉儀(yi) 檢測精度達 0.5ppm(0.5μm/m),能夠滿足眾(zhong) 多高精度製造場景;XD Laser 係列的精密型更是將精度提升至 0.2ppm(0.2μm/m),適用於(yu) 半導體(ti) 製造、光學鏡片研磨等對精度要求高的行業(ye) 。
高效測量:以 XD Laser 6D 為(wei) 例,一次安裝即可同步完成定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角、滾動角等 6 項參數測量,相比傳(chuan) 統設備效率大幅提升 80%。例如,1 米行程機床的全麵誤差檢測,傳(chuan) 統方法需要較長時間,使用 API 設備僅(jin) 3 - 4 小時便可完成。
便捷操作:儀(yi) 器采用緊湊設計,全套係統輕巧便攜。測量時無需三角架,可直接安裝在機床導軌上,極大簡化安裝流程;集成化的幹涉鏡與(yu) 激光器設計,減少複雜的光路調整步驟;部分型號支持 25 米以上無線遙控測量,方便操作人員在複雜工況下靈活使用。
良好環境適應力:內(nei) 置自動氣壓與(yu) 溫度補償(chang) 係統,可實時校正環境變化對激光波長和測量結果的影響;多重數字濾波器有效抑製空氣波動、溫度梯度導致的測量誤差,無論是恒溫實驗室還是溫度、濕度變化較大的工業(ye) 現場,均可穩定輸出可靠數據。
功能豐(feng) 富:API 激光幹涉儀(yi) 具備多樣化的測量功能,1D 型號專(zhuan) 注定位誤差檢測;3D 型號可測量定位誤差與(yu) 雙向直線度誤差;5D/6D 型號更能實現角度參數的全麵測量。此外,XD Laser 係列還可對速度、加速度、振動等動態參數進行分析,為(wei) 機床性能評估提供多維度數據支持。